參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

1.間距精度：測量實際間距與設(shè)計值的偏差范圍（0.5μm~5μm）

2.平行度誤差：評估兩極軸線偏移角度（≤0.02）

3.表面粗糙度：Ra值控制在0.1-0.8μm區(qū)間

4.垂直度偏差：軸向偏移量不超過15μm/m

5.熱變形量：溫度循環(huán)（-40℃~150℃）下的形變量監(jiān)測

檢測范圍

1.半導(dǎo)體晶圓電極陣列

2.鋰離子電池正負極片組

3.真空開關(guān)管觸頭系統(tǒng)

4.MEMS傳感器微電極對

5.多層陶瓷電容器內(nèi)電極

檢測方法

ASTMF534-18半導(dǎo)體晶圓電極間距測試規(guī)范

ISO1101:2017產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)形位公差測量

GB/T1800.2-2020極限與配合基礎(chǔ)第2部分：標準公差等級

IEC62133-2:2017便攜式電池安全要求中的極距測試條款

JISB7440-3:2018三次元測量機檢測方法

檢測設(shè)備

1.KeyenceIM-8000圖像尺寸測量儀：配備20nm分辨率光學(xué)系統(tǒng)

2.MitutoyoCMMCrysta-ApexS三坐標測量機：空間精度(1.8+L/250)μm

3.ZygoNewView9000白光干涉儀：垂直分辨率0.1nm

4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦顯微鏡：XY分辨率120nm

5.HexagonAbsoluteArm7軸測量臂：動態(tài)精度28μm

6.NikonMM-400U測量顯微鏡：物鏡放大倍率50X~1000X

7.Starrett光學(xué)投影儀：放大倍率20X~100X

8.Agilent5530激光干涉儀：線性測量精度0.5ppm

9.ZeissO-INSPECT復(fù)合式測量機：CT掃描+接觸式探針復(fù)合系統(tǒng)

10.MarSurfLD260輪廓儀：Z軸分辨率1nm

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日,，可加急,。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測,。

非標測試：支持定制化試驗方案,。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)