參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

載流子遷移率測定：范圍0.1-10^4 cm2/(V·s)，誤差≤±3%

基區(qū)寬度校準：分辨率0.1nm,，測量范圍50nm-5μm

摻雜濃度分析：檢測限1×10^14 atoms/cm3,，精度±2%

溫度系數(shù)測試：溫控范圍-196℃~300℃，階躍精度±0.5℃

界面態(tài)密度表征：能量分辨率0.01eV,，頻率范圍1kHz-1MHz

檢測范圍

半導(dǎo)體單晶材料：硅(Si),、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)

異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(HBT)

薄膜晶體管(TFT)基板材料

微波功率器件基區(qū)結(jié)構(gòu)

光電器件P型基區(qū)層

檢測方法

ASTM F42-20：霍爾效應(yīng)法測定載流子遷移率

ISO 14707:2015：二次離子質(zhì)譜(SIMS)分析摻雜分布

GB/T 1551-2021：半導(dǎo)體材料電阻率測試規(guī)范

IEC 60749-28:2020：瞬態(tài)電容法測界面態(tài)密度

JESD22-A104E：溫度循環(huán)加速壽命試驗

檢測設(shè)備

Keysight B1500A半導(dǎo)體參數(shù)分析儀：支持DC-1MHz信號掃描,，IV/CV/LF噪聲多參數(shù)集成

Thermo Fisher Scientific SIMS 4550：雙束離子槍系統(tǒng),，深度分辨率＜1nm

Veeco Dimension Icon原子力顯微鏡：峰值力輕敲模式，橫向分辨率0.2nm

Lake Shore CRX-4K探針臺：四軸精密定位,，兼容150mm晶圓

Oxford Instruments OptistatCF低溫恒溫器：0.3K~500K連續(xù)變溫,，磁場強度±8T

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日,，可加急,。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測,。

非標測試：支持定制化試驗方案,。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)