參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1. 極限真空度測(cè)定：測(cè)量系統(tǒng)在穩(wěn)定狀態(tài)下達(dá)到的最低壓力值（1×10?? Pa~1×10?? Pa）

2. 有效抽氣速率測(cè)試：記錄單位時(shí)間內(nèi)氣體排出量（10~5000 L/s）

3. 泄漏率驗(yàn)證：采用氦質(zhì)譜法檢測(cè)系統(tǒng)漏率（≤1×10?? Pa·m3/s）

4. 返油率分析：測(cè)量油蒸氣返流速率（≤1×10?? g/cm2·min）

5. 溫升特性試驗(yàn)：監(jiān)測(cè)連續(xù)運(yùn)行8小時(shí)泵體溫度變化（ΔT≤45℃）

6. 振動(dòng)噪聲評(píng)估：按ISO 10816標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試運(yùn)行振動(dòng)值（≤4.5 mm/s）

檢測(cè)范圍

1. 真空包裝材料（鋁塑復(fù)合膜,、鍍硅PET膜）的透氣性驗(yàn)證

2. 半導(dǎo)體制造設(shè)備（PECVD腔體、離子注入機(jī)）真空系統(tǒng)驗(yàn)收

3. 醫(yī)療滅菌設(shè)備（環(huán)氧乙烷滅菌柜,、凍干機(jī)）密封性能測(cè)試

4. 航空航天部件（推進(jìn)劑貯箱、熱控涂層）出氣特性分析

5. 工業(yè)真空泵（旋片泵,、羅茨泵、分子泵）出廠性能檢驗(yàn)

檢測(cè)方法

ASTM E296-17《Standard Practices for Testing Gas Leaks Using Mass Spectrometer Leak Detector》規(guī)范氦檢漏流程

ISO 21360-1:2019《Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance》規(guī)定抽速測(cè)試程序

GB/T 3163-2007《真空技術(shù) 術(shù)語》定義基礎(chǔ)測(cè)試參數(shù)

GB/T 32213-2015《真空絕熱板有效導(dǎo)熱系數(shù)的測(cè)定》包含特殊材料測(cè)試方案

ISO 1608-1:2020《Vapor vacuum pumps - Measurement of performance characteristics》規(guī)范蒸汽泵測(cè)試條件

檢測(cè)設(shè)備

Edwards STP-A4506渦輪分子泵：極限真空5×10?? Pa，抽速450 L/s（N?）

Agilent IDP-3干式真空泵：無油設(shè)計(jì)，最大流量3 m3/h

INFICON UL1000 Fab氦質(zhì)譜檢漏儀：靈敏度1×10?12 Pa·m3/s

Leybold CTR 90復(fù)合真空計(jì)：量程覆蓋1×10? Pa~1×10?? Pa

MKS 925型微壓差傳感器：分辨率0.001% FS,，量程±1000 Torr

Brooks SLA5850質(zhì)量流量計(jì)：精度±0.5% RD，流量范圍0-5000 sccm

Thermo Scientific HAAKE Viscotester iQ：粘度測(cè)量模塊用于油品分析

Brüel & Kj?r 2270型聲級(jí)計(jì)：符合IEC 61672 Class 1噪聲測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)

FLIR T865紅外熱像儀：-40°C~1500°C溫升監(jiān)測(cè)精度±1%

National Instruments PXIe-4499動(dòng)態(tài)信號(hào)采集系統(tǒng)：同步采集振動(dòng)與壓力數(shù)據(jù)

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè),。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)