干涉球檢測(cè)摘要:干涉球檢測(cè)是光學(xué)元件質(zhì)量控制的核心環(huán)節(jié),,重點(diǎn)評(píng)估表面形貌,、曲率精度及材料均勻性等關(guān)鍵參數(shù),。本文系統(tǒng)闡述涉及球面元件的基礎(chǔ)檢測(cè)項(xiàng)目,、適用材料類型、標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試方法及精密儀器配置方案,,涵蓋ASTM,、ISO及GB/T等權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)指標(biāo)要求。
參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。
注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。
1.表面粗糙度:Ra≤0.8nm(局部區(qū)域),,Rz≤5nm(全域掃描)
2.曲率半徑誤差:0.05%(直徑>100mm),0.02%(直徑≤100mm)
3.面形精度:PV值≤λ/10(@632.8nm),,RMS≤λ/50
4.材料均勻性:折射率偏差<510??(全口徑掃描)
5.透射波前誤差:WFE<0.15λ(Φ50mm通光孔徑)
1.光學(xué)玻璃:包括熔石英、BK7,、SF11等牌號(hào)的透鏡與棱鏡
2.晶體材料:氟化鈣(CaF?),、硅(Si)、鍺(Ge)等紅外光學(xué)元件
3.聚合物材料:PMMA,、PC材質(zhì)的非球面鏡片
4.金屬反射鏡:鋁合金,、鈹銅合金基底的離軸拋物面鏡
5.復(fù)合涂層材料:多層介質(zhì)膜/金屬膜的光學(xué)鍍膜元件
1.ASTME903-20:采用積分球法測(cè)定光譜反射率與透射率
2.ISO10110-5:2015:規(guī)定光學(xué)元件表面缺陷的量化評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)
3.GB/T1800.3-2020:幾何公差標(biāo)注與測(cè)量基準(zhǔn)建立規(guī)范
4.ISO14997:2012:光學(xué)表面缺陷的微分干涉對(duì)比法檢測(cè)
5.GB/T7661-2009:光學(xué)零件面形誤差的斐索干涉測(cè)量法
1.ZygoVerifireHDX激光干涉儀:波長(zhǎng)632.8nm,分辨率0.1nm,,最大測(cè)量口徑Φ600mm
2.MitutoyoSURFTESTSJ-410表面粗糙度儀:橫向分辨率0.01μm,,Z軸量程800μm
3.TriopticsOptiSphericIRL紅外干涉儀:工作波段3-12μm,曲率半徑測(cè)量范圍5-5000mm
4.BrukerContourGT-X3白光干涉儀:垂直分辨率0.01nm,,最大掃描區(qū)域1010mm
5.4DTechnologyPhaseCam6000動(dòng)態(tài)干涉儀:抗振能力>50Hz,,采樣速率5000幀/秒
6.TaylorHobsonPGI1240輪廓儀:Z軸精度0.75nm,接觸力0.1-50mN可調(diào)
7.SCHOTTK8折射率測(cè)試系統(tǒng):測(cè)量精度210??,,溫度控制0.01℃
8.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦顯微鏡:橫向分辨率120nm,,Z軸重復(fù)性1nm
9.Keysight5500原子力顯微鏡:掃描范圍9090μm,Z分辨率0.1nm
10.OptoTechASM700非接觸測(cè)厚儀:厚度測(cè)量范圍0-300mm,,精度0.1μm
報(bào)告:可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。
檢測(cè)周期:7~15工作日,可加急,。
資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。
非標(biāo)測(cè)試:支持定制化試驗(yàn)方案,。
售后:報(bào)告終身可查,,工程師1v1服務(wù)。
中析干涉球檢測(cè) - 由于篇幅有限,,僅展示部分項(xiàng)目,,如需咨詢?cè)敿?xì)檢測(cè)項(xiàng)目,,請(qǐng)咨詢?cè)诰€工程師
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