參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

1. 純度分析：WF?體積分?jǐn)?shù)≥99.995%（GC-MS法）

2. 水分含量：H?O≤5ppm（卡爾費休庫侖法）

3. 金屬雜質(zhì)：Fe≤0.5ppm、Ni≤0.3ppm（ICP-MS法）

4. 氣體雜質(zhì)：O?≤10ppm,、N?≤15ppm（氣相色譜法）

5. 酸度值：HF殘留量≤20ppm（離子色譜法）

檢測范圍

1. 電子級WF?氣體（半導(dǎo)體晶圓蝕刻原料）

2. 特種氣體儲罐（316L不銹鋼容器密封性驗證）

3. 金屬表面處理液（鋁/鉬合金蝕刻劑成分分析）

4. CVD工藝尾氣（化學(xué)氣相沉積反應(yīng)副產(chǎn)物監(jiān)測）

5. 工業(yè)廢氣處理系統(tǒng)（洗滌塔排放氣體合規(guī)性檢測）

檢測方法

1. ASTM E260-2019《氣相色譜法測定六氟化物純度》

2. ISO 21484:2017《質(zhì)譜法測定金屬鹵化物中痕量元素》

3. GB/T 5832.2-2016《電子工業(yè)用氣體中水分的測定》

4. IEC 61207-6:2018《氣體傳感器性能評價規(guī)范》

5. GB 18883-2022《工作場所空氣有毒物質(zhì)測定》

檢測設(shè)備

1. Agilent 7890B氣相色譜儀（配備FID/TCD雙檢測器）

2. Metrohm 899 Coulometer庫侖法水分測定儀

3. Thermo iCAP RQ ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

4. INFICON HAPSITE ER便攜式質(zhì)譜氣體分析儀

5. MKS MultiGas? 2030 FTIR傅里葉紅外光譜系統(tǒng)

6. Dr?ger X-am? 8000多參數(shù)氣體檢測儀

7. Shimadzu GCMS-QP2020 NX氣質(zhì)聯(lián)用儀

8. HORIBA VA-5000在線氣體分析系統(tǒng)

9. AMETEK 5100E氧分析儀（極限靈敏度0.1ppm）<10.PANametrics XGM868超聲波氣體泄漏探測器

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗方案,。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)