參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1. 線性精度誤差：測(cè)量實(shí)際位移與理論值的最大偏差（典型值±0.02mm/m）

2. 重復(fù)定位精度：連續(xù)10次同點(diǎn)定位的離散值（≤±1.5μm）

3. 反向間隙補(bǔ)償量：傳動(dòng)系統(tǒng)空程誤差（0.005-0.03mm）

4. 溫度漂移誤差：20-40℃環(huán)境下的位移變化率（≤0.8μm/℃）

5. 動(dòng)態(tài)響應(yīng)偏差：5m/min運(yùn)動(dòng)速度下的軌跡偏移量（±3μm）

檢測(cè)范圍

1. 機(jī)械傳動(dòng)部件：數(shù)控機(jī)床導(dǎo)軌/滾珠絲杠/直線電機(jī)模組

2. 光學(xué)元件：光刻機(jī)載物臺(tái)/激光切割機(jī)聚焦鏡組

3. 電子設(shè)備：半導(dǎo)體鍵合機(jī)焊頭/探針臺(tái)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

4. 汽車零部件：發(fā)動(dòng)機(jī)缸體珩磨機(jī)/變速箱齒輪嚙合機(jī)構(gòu)

5. 航空航天部件：衛(wèi)星天線展開機(jī)構(gòu)/航空作動(dòng)器活塞組件

檢測(cè)方法

ASTM E3034-15規(guī)定激光干涉法測(cè)量線性位移誤差

ISO 230-2:2014定義機(jī)床雙向定位精度測(cè)試流程

GB/T 17421.2-2016規(guī)范坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的空間誤差補(bǔ)償

GB/T 11336-2021直線導(dǎo)軌綜合精度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

ISO 9283:2022工業(yè)機(jī)器人位置重復(fù)性測(cè)試規(guī)范

檢測(cè)設(shè)備

1. 雷尼紹XL-80激光干涉儀：0.5ppm線性測(cè)量精度,，80m量程

2. 蔡司ACCURA 7三坐標(biāo)機(jī)：0.6μm空間探測(cè)誤差

3. Keysight 5530動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀：50kHz采樣率動(dòng)態(tài)誤差分析

4. 海克斯康Leitz PMM-F Infinity：0.3μm/m溫度補(bǔ)償系統(tǒng)

5. 安捷倫UCC1006電容位移傳感器：1nm分辨率非接觸測(cè)量

6. Mitutoyo LH-600測(cè)長(zhǎng)機(jī)：600mm量程±0.2μm不確定度

7. OGP SmartScope Flash 500：多傳感融合三維形貌分析

8. PI M-521.DD1納米定位臺(tái)：0.1nm閉環(huán)控制分辨率

9. Polytec PSV-500掃描式激光測(cè)振儀：20MHz帶寬動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)

10. Hexagon Absolute Arm 7軸測(cè)量臂：15μm體積精度便攜方案

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè),。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)