參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1. 涂層厚度測量：采用臺階儀測試0.1-5μm范圍內(nèi)的膜層厚度偏差（±3%）

2. 元素?fù)诫s濃度分析：通過XPS測定C/N/O等輕元素含量（0.1%-5%）

3. 界面結(jié)合強(qiáng)度測試：劃痕法評估臨界載荷值（≥50MPa）

4. 表面粗糙度表征：原子力顯微鏡測量Ra值（≤0.05μm）

5. 熱穩(wěn)定性驗證：高低溫循環(huán)測試（-196℃至1200℃）后觀察分層情況

檢測范圍

1. 半導(dǎo)體材料：碳化硅(SiC)功率器件表面Al?O?摻雜涂層

2. 光學(xué)器件：ZnO:Al透明導(dǎo)電薄膜（Al摻雜量≤3%）

3. 切削工具：TiAlN-MoS?復(fù)合潤滑鍍層（MoS?含量1%-2%）

4. 生物醫(yī)療：鈦合金表面羥基磷灰石/銀復(fù)合抗菌涂層（Ag≤500ppm）

5. 核工業(yè)部件：Zr-4合金表面Cr/Al梯度摻雜防護(hù)層

檢測方法

1. ASTM E2865-12(2022) X射線光電子能譜定量分析方法

2. ISO 20502:2019 精細(xì)陶瓷涂層界面結(jié)合強(qiáng)度劃痕測試法

3. GB/T 17722-2022 金屬覆蓋層厚度測量觸針式輪廓儀法

4. ISO 14703:2023 掃描電鏡截面樣品制備規(guī)范

5. GB/T 4334-2020 金屬材料高溫氧化試驗方法

檢測設(shè)備

1. Thermo Scientific K-Alpha+ X射線光電子能譜儀（元素深度剖析）

2. Bruker Dektak XT臺階輪廓儀（0.1nm垂直分辨率）

3. CSM Revetest劃痕測試系統(tǒng)（最大載荷200N）

4. ZEISS Crossbeam 550聚焦離子束掃描電鏡（5nm成像分辨率）

5. Netzsch STA 449F3同步熱分析儀（最高1600℃）

6. Hysitron TI Premier納米壓痕儀（nN級載荷控制）

7. Keyence VK-X3000激光共聚焦顯微鏡（粗糙度三維重構(gòu)）

8. Oxford Instruments AztecEnergy EDS能譜系統(tǒng)（面分布分析）

9. Anton Paar TRB3摩擦磨損試驗機(jī)（高溫真空環(huán)境測試）

10.Rigaku SmartLab X射線衍射儀（殘余應(yīng)力分析）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測,。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)