干涉儀檢測摘要:干涉儀檢測是一種基于光波干涉原理的高精度測量技術(shù),,廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件,、精密加工及表面質(zhì)量分析領(lǐng)域。其核心在于通過相位差分析實(shí)現(xiàn)納米級形貌測量,,主要檢測參數(shù)包括面形誤差,、曲率半徑和平行度等,。需嚴(yán)格遵循ASTM、ISO及GB/T標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范操作流程,。
參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,,加急試驗(yàn)5個工作日。
注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。
1.面形誤差檢測:PV值≤λ/10(λ=632.8nm),RMS≤λ/50
2.曲率半徑測量:范圍5m至500mm,,精度0.05%
3.平行度測試:分辨率0.1arcsec(角秒級)
4.表面粗糙度分析:Ra≤0.5nm(白光干涉模式)
5.厚度均勻性評估:測量精度0.1μm@25mm口徑
1.光學(xué)玻璃:包括透鏡,、棱鏡、窗口片等成像元件
2.晶體材料:鈮酸鋰,、藍(lán)寶石等單晶/多晶材料基片
3.金屬表面:精密機(jī)械零件平面度與粗糙度
4.聚合物薄膜:厚度50μm-5mm的PET/PC膜層
5.半導(dǎo)體晶圓:硅片翹曲度與納米級表面缺陷
1.ASTME284-17:標(biāo)準(zhǔn)表面粗糙度術(shù)語定義
2.ISO10110-5:2015:光學(xué)元件面形公差規(guī)范
3.GB/T10988-2009:光學(xué)系統(tǒng)偏心測試方法
4.ISO14997:2018:光學(xué)表面缺陷檢測標(biāo)準(zhǔn)
5.GB/T13323-2009:光學(xué)零件面形偏差測試通則
1.ZygoVerifireMST:大口徑(Φ600mm)菲索干涉儀
2.TaylorHobsonTalysurfCCILite:白光干涉三維輪廓儀
3.4DTechnologyPhaseCam6000:動態(tài)干涉測量系統(tǒng)
4.BrukerContourGT-X3:顯微干涉三維形貌儀
5.TriopticsOptiSphericIFR:球面/非球面綜合測試平臺
6.Keysight5500A:激光平面干涉儀(雙頻激光源)
7.MitutoyoMF-U1000H:超精密平面度測量儀
8.FisbaμPhase2D:微型光纖干涉系統(tǒng)
9.NikonNEXIVVMZ-S6560:視頻測量干涉顯微鏡
10.OptofluxF20A:在線式薄膜厚度監(jiān)測儀
報告:可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。
檢測周期:7~15工作日,可加急,。
資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。
標(biāo)準(zhǔn)測試:嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。
非標(biāo)測試:支持定制化試驗(yàn)方案,。
售后:報告終身可查,,工程師1v1服務(wù)。
中析干涉儀檢測 - 由于篇幅有限,,僅展示部分項(xiàng)目,,如需咨詢詳細(xì)檢測項(xiàng)目,請咨詢在線工程師
2024-08-24
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