參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

1.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（掃描區(qū)域1mm1mm），Sa≤0.8nm（三維參數(shù)）

2.面形精度：PV值≤λ/[email protected]（RMS≤λ/100）

3.材料去除率：0.1-5μm/h（離子能量5-30keV）

4.亞表層損傷深度：≤50nm（透射電鏡觀測）

5.元素污染度：表面雜質(zhì)含量≤100ppm（EDS能譜分析）

檢測范圍

1.光學(xué)玻璃：包括熔融石英,、BK7玻璃制成的透鏡與棱鏡

2.金屬合金：鈦合金/鋁合金航空部件與醫(yī)療器械

3.半導(dǎo)體材料：硅/碳化硅晶圓及紅外窗口片

4.陶瓷材料：氧化鋁/氮化硅精密軸承與噴嘴

5.聚合物材料：PMMA微流控芯片與仿生器件

檢測方法

1.ISO10110-8:2020光學(xué)元件表面粗糙度非接觸測量規(guī)范

2.ASTME384-22材料顯微硬度測試標準（載荷10-500mN）

3.GB/T16534-2009工程陶瓷表面缺陷檢驗方法

4.ISO14952-3:2019表面清潔度評估的XPS測試規(guī)程

5.GB/T32281-2015半導(dǎo)體晶片幾何尺寸測量指南

檢測設(shè)備

1.ZygoNewView9000：三維表面形貌儀（垂直分辨率0.1nm）

2.VeecoNT9800：白光干涉粗糙度測量系統(tǒng)

3.FEIHeliosG4UX：聚焦離子束掃描電鏡（FIB-SEM）

4.BrukerContourGT-X3：激光共聚焦顯微鏡

5.ShimadzuHMV-G21DT：顯微硬度計（最大載荷2kgf）

6.ThermoScientificK-Alpha+：X射線光電子能譜儀

7.OlympusLEXTOLS5000：激光顯微系統(tǒng)（12000放大倍率）

8.Agilent5500：原子力顯微鏡（接觸/非接觸雙模式）

9.ZeissAxioImager.M2m：金相顯微鏡（微分干涉對比功能）

10.HitachiSU8200系列：冷場發(fā)射掃描電鏡（分辨率0.8nm@15kV）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案,。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)