參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.直線度誤差：測(cè)量軸線偏離理論直線的最大偏差值（0.5μm/m至2.0μm/m）

2.平行度偏差：雙光路系統(tǒng)光軸間夾角（≤3μrad）

3.同軸度誤差：多組件中心軸偏移量（軸向≤0.01mm/徑向≤0.005mm）

4.光束發(fā)散角：激光束半角寬度（0.1mrad-5mrad）

5.反射面平整度：表面波前畸變（PV值≤λ/[email protected]）

檢測(cè)范圍

1.光學(xué)儀器：望遠(yuǎn)鏡物鏡組、顯微鏡載物臺(tái)導(dǎo)軌

2.機(jī)械部件：數(shù)控機(jī)床主軸導(dǎo)軌,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)

3.半導(dǎo)體設(shè)備：光刻機(jī)硅片臺(tái)定位系統(tǒng),、晶圓傳輸機(jī)械臂

4.激光系統(tǒng)：光纖耦合器對(duì)準(zhǔn)組件、諧振腔反射鏡支架

5.航空航天：衛(wèi)星載荷安裝基板,、慣性導(dǎo)航平臺(tái)框架

檢測(cè)方法

ASTME1774-12：采用激光干涉法測(cè)量直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)定位精度

ISO10360-7:2011坐標(biāo)測(cè)量機(jī)軸向?qū)?zhǔn)誤差評(píng)定規(guī)程

GB/T17421.2-2016機(jī)床檢驗(yàn)通則第2部分：數(shù)控軸線性運(yùn)動(dòng)定位精度

GB/T13962-2009光學(xué)經(jīng)緯儀檢定規(guī)程中的視準(zhǔn)軸誤差檢測(cè)條款

ISO10110-5:2015光學(xué)元件表面形狀公差測(cè)試方法

檢測(cè)設(shè)備

1.ZYGOVerifireMST激光干涉儀（波長(zhǎng)632.8nm,分辨率0.1nm）

2.TaylorHobsonTalyvel4電子水平儀（量程500μm/m,精度0.5μm/m）

3.RenishawXL-80激光跟蹤儀（最大測(cè)距80m,角度分辨率0.01arcsec）

4.TriopticsOptiCentric雙光路自準(zhǔn)直儀（測(cè)量范圍1000",精度0.1"）

5.Keysight5530動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀（線性測(cè)量精度0.2ppm）

6.HamarLaserL-743多光束準(zhǔn)直系統(tǒng)（同時(shí)測(cè)量6軸偏差）

7.NikonNivoC系列全站儀（角度測(cè)量精度1",測(cè)距精度1mm+1ppm）

8.MitutoyoMF-U系列測(cè)微準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡（放大倍率30X,視場(chǎng)角130'）

9.FlukeTiX580紅外熱像儀（用于溫度梯度對(duì)光路影響的補(bǔ)償分析）

10.OphirSpiriconSP928光束質(zhì)量分析儀（CCD尺寸12.7mm10.2mm,像素10241280）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱(chēng)：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)