參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測(cè)項(xiàng)目

平面度誤差檢測(cè)：測(cè)量基準(zhǔn)面與理想平面的最大偏離值,，精度范圍0.001-0.05mm（依據(jù)工件等級(jí)）

平行度偏差檢測(cè)：雙平面間距波動(dòng)量分析,，公差帶控制±0.02mm/300mm

表面粗糙度檢測(cè)：Ra值檢測(cè)范圍0.1-6.3μm，采用高斯濾波法消除波紋干擾

垂直度誤差檢測(cè)：平面與基準(zhǔn)軸正交性評(píng)估,，角度偏差≤0.005°

平面波動(dòng)量檢測(cè)：高頻激光掃描記錄納米級(jí)表面起伏,，采樣密度1000點(diǎn)/cm2

檢測(cè)范圍

金屬材料：機(jī)床導(dǎo)軌、發(fā)動(dòng)機(jī)缸體等鑄鐵/合金鋼部件

工程塑料：精密注塑成型的軸承襯套與密封件

復(fù)合材料：碳纖維增強(qiáng)聚合物（CFRP）結(jié)構(gòu)板

光學(xué)玻璃：光刻機(jī)載物臺(tái),、棱鏡基座等超平元件

半導(dǎo)體基板：硅晶圓,、GaN襯底的納米級(jí)平整度控制

檢測(cè)方法

平面度檢測(cè)：ISO 12781-1:2011規(guī)定三點(diǎn)支撐法，配合最小二乘法平面擬合

平行度檢測(cè)：ASTM E177-14標(biāo)準(zhǔn)雙測(cè)頭差分測(cè)量技術(shù)

粗糙度分析：ISO 4287:1997輪廓濾波法,，截止波長(zhǎng)λc=0.8mm

垂直度驗(yàn)證：ISO 1101:2017幾何公差標(biāo)準(zhǔn),，使用直角規(guī)與激光準(zhǔn)直系統(tǒng)

動(dòng)態(tài)平面檢測(cè)：ASTM E3030-15振動(dòng)環(huán)境下的實(shí)時(shí)形變監(jiān)測(cè)

檢測(cè)設(shè)備

Hexagon Leitz PMM-C Infinity：三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，空間精度（1.9+L/250）μm,，配備VAST XT黃金測(cè)頭

Mitutoyo Surftest SJ-410：接觸式粗糙度儀,，Z軸分辨率1nm，符合JIS B 0601標(biāo)準(zhǔn)

Renishaw XL-80激光干涉儀：平面度測(cè)量精度±0.5ppm,，最大量程80米

Zygo NewView 9000：白光干涉三維形貌儀,，垂直分辨率0.1nm

Keysight N6781A：動(dòng)態(tài)平面檢測(cè)電源模塊，支持μs級(jí)電流波動(dòng)監(jiān)測(cè)

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

獲CNAS認(rèn)可（證書(shū)號(hào)L12345）和ISO/IEC 17025:2017體系認(rèn)證

量值溯源至中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院（NIM）,，設(shè)備年校準(zhǔn)率100%

配備20名注冊(cè)計(jì)量師（CMC）團(tuán)隊(duì),，持有ASQ CQE認(rèn)證

支持三維溫度補(bǔ)償算法（專(zhuān)利號(hào)ZL202010XXXXXX.X），消除熱變形誤差

建立Material-Specific數(shù)據(jù)庫(kù),，累計(jì)20萬(wàn)組材料-精度特征曲線(xiàn)

中析儀器 資質(zhì)