參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

平面度誤差：測量范圍0.01-5000mm，精度±0.1μm

表面粗糙度（Ra值）：檢測范圍0.001-100μm,，分辨率0.001μm

局部凹陷高度：閾值設(shè)定0.5-50μm,，采樣間距0.1mm

曲率半徑偏差：測量半徑0.1-10000mm，重復性誤差≤0.05%

邊緣平整度：檢測角度范圍±90°,，定位精度±0.01°

檢測范圍

金屬材料：鋁合金板材,、不銹鋼精密部件、鈦合金切削件

陶瓷材料：電子基板,、結(jié)構(gòu)陶瓷部件,、耐磨涂層

光學元件：棱鏡工作面、激光反射鏡,、光學窗口片

高分子材料：液晶面板,、工程塑料注塑件、半導體封裝基材

復合材料：碳纖維層壓板,、陶瓷金屬復合裝甲,、光伏玻璃

檢測方法

激光干涉法：ISO 12781平面度測量標準，GB/T 11337-2004幾何誤差檢測

白光共聚焦掃描：ASTM F2459表面形貌表征,，ISO 25178-2三維表面測量

接觸式探針測量：GB/T 3505-2009表面粗糙度參數(shù),，ISO 4287輪廓法標準

數(shù)字圖像處理：ASTM E3025自動視覺檢測，GB/T 29558-2013非接觸式測量

相位偏折術(shù)：ISO 10110-5光學元件檢測,，GB/T 2831-2009平板玻璃平整度

檢測設(shè)備

Taylor Hobson Talyrond 585圓度儀：集成激光干涉模塊,，平面度測量分辨率0.01μm

Mitutoyo SJ-410表面粗糙度儀：觸針式測量，符合ISO 4288標準,，最大行程350mm

Zygo NewView 9000白光干涉儀：垂直分辨率0.1nm,，支持ISO 25178全參數(shù)分析

Hexagon Leitz PMM-C 三坐標機：配備SP25M掃描探頭，空間精度0.6+L/400μm

Keyence VR-6000三維輪廓儀：非接觸式測量,，掃描速度100mm/s,，Z軸重復精度0.05μm

北京中科光析科學技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日,，可加急,。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測,。

非標測試：支持定制化試驗方案,。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)