參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

真空度范圍驗(yàn)證：10?? Pa至10 Pa,，分辨率0.1%FS

泄漏率測(cè)定：靈敏度≤1×10?? Pa·m3/s

熱傳導(dǎo)系數(shù)校準(zhǔn)：偏差≤±2%（參照NIST標(biāo)準(zhǔn)氣體）

溫度漂移測(cè)試：工作溫度-20℃至80℃，穩(wěn)定性±0.5℃/h

長(zhǎng)期穩(wěn)定性評(píng)估：連續(xù)運(yùn)行72小時(shí),，輸出波動(dòng)＜1%

檢測(cè)范圍

金屬材料：不銹鋼,、鋁合金真空腔體焊縫密封性

半導(dǎo)體封裝：晶圓級(jí)封裝氣密性、MEMS器件真空維持能力

高分子材料：真空袋,、密封膠圈氣體滲透率

真空鍍膜設(shè)備：磁控濺射靶材室本底真空度

航天部件：推進(jìn)劑貯箱,、艙門密封系統(tǒng)泄漏檢測(cè)

檢測(cè)方法

ASTM E296-17：標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)熱傳導(dǎo)真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

ISO 3567:2011：真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)的比對(duì)方法

GB/T 31423-2015：真空技術(shù)漏率測(cè)量方法

GB/T 3163-2007：真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)及圖形符號(hào)

ASTM F2338-09：包裝件真空衰減法泄漏測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)

檢測(cè)設(shè)備

Inficon Pirani Gauge PTR90：量程5×10?? Torr至1000 Torr，RS485數(shù)字輸出

Leybold THERMOVAC TTR91N：集成溫度補(bǔ)償,，精度±15%讀數(shù)

Agilent UHV-24P：超高真空復(fù)合規(guī),，含皮拉尼與冷陰極雙傳感器

MKS 925B：多通道真空監(jiān)控系統(tǒng)，支持8路同步采集

Edwards ActiveGauge TIC：自動(dòng)溫度補(bǔ)償,，響應(yīng)時(shí)間＜2秒

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)