參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1. 泄漏率檢測：測量范圍1×10^-6 Pa·m3/s至1×10^-3 Pa·m3/s（ASTM E493）

2. 壓力穩(wěn)定性測試：監(jiān)測10^-3 Pa至10^-1 Pa區(qū)間壓力波動（ISO 3570）

3. 氣體成分分析：識別H?O,、O?,、N?等殘留氣體濃度（GB/T 31480）

4. 真空度維持時間：記錄系統(tǒng)從10^-2 Pa升至10^1 Pa所需時長（GB/T 3163）

5. 密封材料滲透率：評估橡膠/金屬密封件的氣體滲透系數(shù)（ISO 15105-1）

檢測范圍

1. 金屬密封件：法蘭接頭、真空閥門組件

2. 高分子材料薄膜：聚酰亞胺真空袋,、氟橡膠密封圈

3. 真空電子器件：X射線管,、光電倍增管

4. 半導(dǎo)體封裝材料：晶圓級封裝腔體、MEMS器件

5. 真空鍍膜設(shè)備組件：磁控濺射靶材室,、蒸鍍腔體

檢測方法

1. ASTM E493-22：質(zhì)譜分析法測定系統(tǒng)總泄漏率

2. ISO 3570:2020：靜態(tài)升壓法評估真空系統(tǒng)密封性

3. GB/T 31480-2015：四極桿質(zhì)譜儀定量分析殘余氣體

4. GB/T 3163-2007：差壓法測量真空容器壓力維持能力

5. ISO 15105-1:2021：恒壓法測定聚合物薄膜透氣系數(shù)

檢測設(shè)備

1. Agilent Technologies MSD 5977B：四極桿質(zhì)譜儀（氣體成分分析）

2. INFICON UL1000 Fab：氦質(zhì)譜檢漏儀（靈敏度1×10^-12 Pa·m3/s）

3. Leybold PHOENIX L300i：渦輪分子泵組（極限真空5×10^-7 Pa）

4. MKS Instruments 925B：電容薄膜規(guī)（量程0.1 Pa至133 kPa）

5. Pfeiffer Vacuum HPT 200：熱陰極電離規(guī)（測量下限1×10^-8 Pa）

6. Edwards TIC-301：冷陰極電離計（快速響應(yīng)壓力監(jiān)測）

7. VACUU-BRAND DVR 5：數(shù)字式真空計（多通道數(shù)據(jù)采集）

8. Canon ANELVA MRH-2000：殘余氣體分析系統(tǒng)（全量程氣體識別）

9. Shimadzu GC-2030：氣相色譜儀（痕量氣體分離檢測）

10. Kurt J. Lesker KJLC 360i：復(fù)合真空校準系統(tǒng)（動態(tài)流量法校準）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測,。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)