參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1. 主軸徑向跳動(dòng)：采用激光干涉儀測(cè)量≤0.005mm

2. 切割線速度偏差：測(cè)速儀檢測(cè)±0.5m/s誤差范圍

3. 刀片端跳精度：千分表測(cè)量軸向跳動(dòng)≤0.003mm

4. 冷卻系統(tǒng)流量：流量計(jì)測(cè)試≥15L/min標(biāo)準(zhǔn)值

5. 電氣絕緣電阻：兆歐表測(cè)量≥100MΩ@500VDC

6. 振動(dòng)加速度值：三軸加速度計(jì)監(jiān)測(cè)≤0.2g峰值

檢測(cè)范圍

1. 單晶硅/多晶硅晶圓（厚度100-300μm）

2. 藍(lán)寶石襯底（直徑2-8英寸）

3. 光學(xué)玻璃（K9、熔融石英等）

4. 陶瓷復(fù)合材料（Al?O?,、SiC基）

5. 超硬合金刀具（WC-Co系）

6. CVD金剛石涂層基板

檢測(cè)方法

1. ASTM E1225-20：熱穩(wěn)定性測(cè)試（溫控±0.5℃）

2. ISO 230-2:2014：定位精度與重復(fù)定位精度驗(yàn)證

3. GB/T 6402-2008：金剛石刀具鋒利度測(cè)量規(guī)范

4. IEC 60204-1:2016：電氣安全性能綜合評(píng)估

5. GB/T 17421.3-2009：主軸動(dòng)態(tài)特性測(cè)試規(guī)程

6. ISO 12179:2021：表面粗糙度Ra≤0.1μm驗(yàn)證

檢測(cè)設(shè)備

1. 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：Mitutoyo CMM-CRYSTA Apex S1168（三維精度±0.6μm）

2. 激光干涉儀：Renishaw XL-80（線性測(cè)量分辨率0.001μm）

3. 動(dòng)態(tài)信號(hào)分析儀：B&K PULSE 3560E（頻率范圍0-25kHz）

4. 紅外熱像儀：FLIR T865（熱靈敏度≤0.03℃）

5. 表面輪廓儀：Taylor Hobson Form Talysurf i120（Ra測(cè)量精度0.8nm）

6. 刀具預(yù)調(diào)儀：Zoller Genius3（刀長(zhǎng)測(cè)量誤差±1μm）

7. 振動(dòng)分析系統(tǒng)：NI cDAQ-9188（采樣率204.8kS/s）

8. 硬度計(jì)：Wilson 934HRD（洛氏硬度HRA標(biāo)定）

9. 金相顯微鏡：Olympus BX53M（5000倍電子放大）

10. X射線衍射儀：Bruker D8 ADVANCE（晶格結(jié)構(gòu)分析）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)