參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1. 極限真空度測(cè)試：測(cè)量泵體在-196℃工況下的殘余壓力值（≤1×10^-7 Pa）

2. 漏率檢測(cè)：氦質(zhì)譜法測(cè)定系統(tǒng)泄漏率（≤1×10^-9 mbar·L/s）

3. 抽氣速率驗(yàn)證：采用動(dòng)態(tài)流量法測(cè)試氮?dú)獬樗伲?0-2000 L/s）

4. 冷頭降溫特性：記錄液氮制冷系統(tǒng)達(dá)到工作溫度的時(shí)間曲線（≤45min）

5. 再生周期測(cè)試：評(píng)估吸附劑飽和后的再生效率（脫附率≥98%）

檢測(cè)范圍

1. 半導(dǎo)體制造用分子泵組低溫捕集器

2. 同步輻射裝置二級(jí)冷阱系統(tǒng)

3. 航天材料熱真空試驗(yàn)艙低溫泵

4. 超導(dǎo)磁體杜瓦容器配套低溫泵

5. 氦氣回收系統(tǒng)低溫吸附裝置

檢測(cè)方法

ASTM E595-07(2020)：真空材料放氣率標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試規(guī)程

ISO 21360-3:2019 真空技術(shù)-泵性能測(cè)量方法-第3部分：機(jī)械增壓泵

GB/T 3163-2007 真空技術(shù)術(shù)語

GB/T 6070-2007 真空技術(shù)管路元件通導(dǎo)能力的測(cè)定

ISO 1608-1:2020 蒸汽流真空泵性能特性的測(cè)定

檢測(cè)設(shè)備

1. Agilent UHV-24 四極質(zhì)譜儀：用于殘余氣體分析與微漏檢測(cè)（分辨率0.5amu）

2. Leybold NAVIROOT 3000 真空計(jì)組：覆蓋1×10^-9~1000mbar量程測(cè)量

3. INFICON ELT3000 氦檢漏儀：靈敏度達(dá)5×10^-12 mbar·L/s

4. MKS 1179C 氣體流量校準(zhǔn)器：精度±0.25%的流量標(biāo)定系統(tǒng)

5. Lake Shore 336 溫控儀：支持4通道低溫傳感器數(shù)據(jù)采集

6. Pfeiffer HLT 260 渦輪分子泵組：建立測(cè)試基準(zhǔn)真空環(huán)境

7. Keysight 34972A 數(shù)據(jù)采集器：多通道實(shí)時(shí)記錄壓力/溫度參數(shù)

8. Edwards STP-4503 檢漏專用氦噴槍：定向泄漏定位裝置

9. Varian HS-6 電離規(guī)管：超高真空段壓力監(jiān)測(cè)單元

10. Bronkhorst EL-FLOW Prestige 氣體質(zhì)量流量計(jì)：精度±0.5%RD+0.1%FS

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)