參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測項(xiàng)目

表面元素靈敏度分析（檢測參數(shù)：元素檢出限0.1-10 at.%）

化學(xué)態(tài)結(jié)合能測定（檢測參數(shù)：結(jié)合能范圍0-1500 eV,，分辨率±0.2 eV）

深度剖面分析（檢測參數(shù)：濺射深度0-1000 nm,，深度分辨率5 nm）

價(jià)帶結(jié)構(gòu)表征（檢測參數(shù)：能量范圍-20至20 eV，步長0.05 eV）

污染物檢測（檢測參數(shù)：C/O污染層厚度1-50 nm,，覆蓋度分析）

檢測范圍

金屬材料：鋁合金鈍化膜,、不銹鋼氧化層,、電鍍涂層

半導(dǎo)體材料：硅片表面摻雜、GaN外延層,、ITO透明導(dǎo)電膜

高分子材料：聚合物表面改性層,、光刻膠殘留物

陶瓷材料：氮化硅燒結(jié)體、壓電陶瓷界面

生物材料：鈦合金植入體表面處理,、醫(yī)用高分子涂層

檢測方法

ASTM E2108：標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐-X射線光電子能譜表面分析

ISO 18118：表面化學(xué)分析-俄歇電子能譜和X射線光電子能譜

GB/T 19500：X射線光電子能譜分析方法通則

GB/T 17359：電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析方法

ISO 15472：XPS儀器強(qiáng)度標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)方法

檢測設(shè)備

Thermo Scientific K-Alpha XPS：單色化Al Kα光源（1486.6 eV）,，空間分辨率≤30 μm，配備Ar+離子槍（0.1-4 keV）

ULVAC-PHI VersaProbe IV：多模式X射線源（Al/Mg雙陽極）,，深度剖析模式最小束斑10 μm

Kratos AXIS Supra：高傳輸能量分析器（能量分辨率<0.45 eV）,，集成紫外光電子能譜（UPS）模塊

SPECS FlexMod XPS：模塊化設(shè)計(jì)，配備SnapMap快速成像功能（像素尺寸5 μm）

JEOL JPS-9030：全自動(dòng)樣品臺（5軸控制）,，支持高溫/低溫原位分析（-150℃至600℃）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)